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概览

RA101型六氟化硫气体泄漏标准发生装置

产品用途|MCU智能控制 • 高纯气体超微流量控制

产品型号RA101型

产品名称六氟化硫气体泄漏标准发生装置

量程A(0.02~2)mL/min SF₆

量程B(0.2~20)mL/min SF₆

响应时间≤1s

预热时间≤2min

性能

产品中心-----------产品详情-–-49_01.png

产品中心-----------产品详情-–-49_02.png

配置

产品参数及尺寸

参数名称

参数值


量  程  A

(0.02~2)mL/min SF₆


量  程  B

(0.2~20)mL/min SF₆


量程A准确度

±0.01mL/min(<0.7mL/min SF₆)

±0.02mL/min(≥0.7mL/min SF₆)



量程B准确度

±0.1mL/min(<7mL/min SF₆)

±0.2mL/min(≥7mL/min SF₆)


响应时间

≤1s


预热时间

≤2min


稳  定  性

零点漂移(仪器零点漂移在一年内应不超过±0.6%F.S)


扩  展  性

可根据用户需求实现甲烷、二氧化碳、一氧化碳等其他气体准泄漏源


显       示

5.6英寸液晶显示屏


电       源

220V AC、50Hz

功能特点

MCU智能控制,自动控制,精度高,线性佳;

装置的管路内表面均具有抗腐蚀、低吸附特性,对酸性气体及有毒有害气体均可进行配制;

可实现多种高纯气体超微流量控制;


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